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1）完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關系極大。

2）對環境無污染，不需進行三廢處理。

3）爐溫測定、監控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環，仍可控制在±5°c溫差范圍內。

4）機電一體化程度高。在溫度測控精度提高的基礎上，工件移動、氣壓調節、功率調節等均可預先編程設定，按步驟實施淬火和回火。

5）能耗顯著低于鹽浴爐。現代先進的真空爐加熱室采用優質隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內，節能效果顯著。

真空爐即真空熱處理爐，根據應用設備來區分，大概包含以下種類：

真空淬火爐、真空釬焊爐 、真空退火爐、真空加磁爐、真空回火爐、真空燒結爐、真空擴散焊爐、真空滲碳爐等。

真空爐按加熱方式分為真空電阻爐、真空、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐（又稱電子轟擊爐）和等離子爐等。